Ebara EBT70 陶瓷軸承渦輪分子真空幫浦 ISO-K 63 入口法蘭,附板載控制器,75 l/s 抽速 N2。產品編號:EBT70FRAB

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<中心> Ebara EBT70 陶瓷軸承渦輪分子真空泵,ISO-K 63 入口法蘭,附板載控制器,75 l/s 抽速 N2,強制風扇風冷。 荏原零件號:EBT70FRAB。
Ebara EBT70 機械陶瓷軸承複合渦輪分子幫浦符合 ISO-K 63 標準,是高效、經濟高效的解決方案,可為您的高真空應用提供清潔、可靠的真空生成。 EBT70 渦輪泵具有卓越的價值,並配備精密陶瓷軸承,可實現多年無故障運行(更換前超過 30,000 小時)。新的複合設計轉子可以在高流量或通風條件下承受不頻繁的衝擊處理。效率的提高帶來了更高的抽速和氣體壓縮。這可適應更高的前級壓力,使其成為包括特高壓、移動真空推車和分析系統在內的多種應用的理想選擇。

Ebara EBT 型號的特點和優點:
  • 堅固的軸承設計非常適合行動應用
  • 高抽速
  • 輕質氣體的高壓縮比
  • 快速啟動與停止
  • 快速排氣(無排氣脈衝)
  • 風扇或水冷卻(不包括在內)
  • ISO 或 Conflat (CF) 法蘭
  • 整合控制器(選定型號)

典型渦輪幫浦應用包括:
  • 半導體
  • 薄膜
  • 光電
  • 質譜
  • 分析儀器燈
  • 表面處理
  • 電子/X射線管
  • 離子/電子束源
  • 晶圓鍵結
  • 濺鍍
  • 玻璃/薄膜塗層
  • 排氣車

幫浦說明手冊和 Ebara EBT 渦輪分子幫浦產品手冊可下載。

Ebara-Turbopumps-EBT70F-OnBoard-Manual.pdf (Ebara-Turbopumps-EBT70F-OnBoard-Manual.pdf, 496 Kb) [下載]

Ebara-EBT-Turbo-Pump-Brochure.pdf (Ebara-EBT-Turbo-Pump-Brochure.pdf, 1,731 Kb) [下載]

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