エバラ EBT70 セラミックベアリング ターボ分子真空ポンプ ISO-K 63 入口フランジ、オンボード コントローラ付き、排気速度 75 l/s N2。PN: EBT70FRAB
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ISO-K 63 搭載の Ebara EBT70 機械式セラミック ベアリング複合ターボ分子ポンプは、高真空アプリケーション向けにクリーンで信頼性の高い真空生成を提供する、高効率でコスト効率の高いソリューションです。EBT70 ターボポンプは優れた価値を提供し、長年にわたりトラブルのない動作 (交換前 30,000 時間以上) を実現する精密セラミック ベアリングを備えています。新しい複合設計のローターは、高流量または通気状態でのまれな衝撃処理に耐えることができます。効率の向上により、ポンピング速度とガス圧縮が向上します。これにより、より高いフォアライン圧力に対応できるため、UHV、モバイル真空カート、分析システムなど、さまざまな用途に最適です。
Ebara EBT モデルの特徴と利点:
一般的なターボ ポンプ アプリケーションには以下が含まれます:
ポンプの取扱説明書と荏原EBTターボポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。
Ebara EBT モデルの特徴と利点:
- モバイル アプリケーションに最適な頑丈なベアリング設計
- 高速ポンピング速度
- 軽質ガス用の高圧縮比
- 高速起動および停止
- 迅速なベント (ベント パルスなし)
- ファンまたは水冷 (付属していません)
- ISO または Conflat (CF) フランジ
- 統合コントローラ (一部のモデル)
一般的なターボ ポンプ アプリケーションには以下が含まれます:
- 半導体
- 薄膜
- 太陽光発電
- 質量分光分析
- 分析機器ランプ
- 表面処理
- 電子/X線管
- イオン/EB源
- ウェーハボンディング
- スパッタ
- ガラス/フィルムコーティング
- 排気カート
ポンプの取扱説明書と荏原EBTターボポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。
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