Ebara EBT70 세라믹 베어링 터보 분자 진공 펌프 CF 4.50인치 입구 플랜지 75 l/s 펌핑 속도 N2. PN: EBT70FCAB-20
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CF-4.50인치의 Ebara EBT70 기계식 세라믹 베어링 복합 터보 분자 펌프는 고진공 응용 분야에 깨끗하고 안정적인 진공 생성을 제공하는 고효율, 비용 효율적인 솔루션입니다. EBT70 터보 펌프는 뛰어난 가치를 제공하며 수년간 문제 없이 작동할 수 있는 정밀 세라믹 베어링이 장착되어 있습니다(>30,000시간 교체 전). 새로운 복합 설계 로터는 높은 유량 또는 배출 조건에서 드물게 충격 처리를 견딜 수 있습니다. 개선된 효율성은 더 높은 펌핑 속도와 가스 압축으로 이어집니다. 이는 더 높은 포라인 압력을 수용하여 UHV, 모바일 진공 카트 및 분석 시스템을 포함한 여러 응용 분야에 이상적입니다.
Ebara EBT 모델 기능 및 이점:
일반적인 터보 펌프 애플리케이션은 다음과 같습니다.
펌프 사용 설명서와 Ebara EBT 터보펌프 제품 브로셔는 다운로드에서 제공됩니다.
Ebara EBT 모델 기능 및 이점:
- 모바일 애플리케이션에 이상적인 견고한 베어링 설계
- 높은 펌핑 속도
- 가벼운 가스에 대한 높은 압축 비율
- 빠른 시작 및 정지
- 빠른 환기(환기 펄싱 없음)
- 팬 또는 수냉(포함되지 않음)
- ISO 또는 Conflat(CF) 플랜지
- 통합 컨트롤러(선택된 모델)
일반적인 터보 펌프 애플리케이션은 다음과 같습니다.
- 반도체
- 박막
- 태양광
- 대량 분광법
- 분석 기기 램프
- 표면 처리
- 전자/X선관
- 이온/EB 소스
- 웨이퍼 본딩
- 스퍼터
- 유리/필름 코팅
- 배기 카트
펌프 사용 설명서와 Ebara EBT 터보펌프 제품 브로셔는 다운로드에서 제공됩니다.
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