Ebara 电缆适用于 EBT70 陶瓷轴承涡轮分子真空泵,3 米。部件号:EBTCBL01M03M

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Ebara 电缆,用于 EBT70 陶瓷轴承涡轮分子真空泵,3 米。 Ebara 零件编号:EBTCBL01M03M。

这是一条 3 米长的 Ebara 电缆,用于 EBT70 陶瓷轴承涡轮分子真空泵和 ETC76 控制器。Ebara EBT70 机械陶瓷轴承复合涡轮分子泵是高效、经济的解决方案,可为您的高真空应用提供清洁可靠的真空生成。EBT70 涡轮泵具有卓越的价值,配备精密陶瓷轴承,可多年无故障运行(更换前超过 30,000 小时)。新型复合设计转子可在高流量或通风条件下承受不频繁的冲击处理。效率提高可提高抽气速度和气体压缩率。这可适应更高的前级压力,使其成为多种应用的理想选择,包括 UHV、移动真空车和分析系统。

Ebara EBT 型号特点和优势:
  • 坚固的轴承设计,非常适合移动应用
  • 高抽速
  • 轻质气体的高压缩比
  • 快速启动和停止
  • 快速排气(无排气脉冲)
  • 风扇或水冷(不包括)
  • ISO 或 Conflat (CF) 法兰
  • 集成控制器(选定型号)

典型的涡轮泵应用包括:
  • 半导体
  • 薄膜
  • 光伏
  • 质量光谱测定法
  • 分析仪器灯
  • 表面处理
  • 电子/X 射线管
  • 离子/EB 源
  • 晶圆键合
  • 溅射
  • 玻璃/薄膜涂层
  • 排气车

下载中提供泵使用说明书和 Ebara EBT 涡轮泵产品手册。

Ebara-EBT70F-Turbopump-Operating-Manual.pdf (Ebara-EBT70F-Turbopump-Operating-Manual.pdf, 272 Kb) [下载]

Ebara-EBT-Turbo-Pump-Brochure.pdf (Ebara-EBT-Turbo-Pump-Brochure.pdf, 1,731 Kb) [下载]

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