버스트 디스크 CF 2.75 플랜지, 초고진공, 대기압으로의 압력 방출, 72F에서 정격 9-11 PSI
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이 진공 시스템 버스트 디스크는 우발적인 진공 챔버 과압 이벤트가 발생할 경우 안전한 압력 방출 경로를 제공합니다(이러한 버스트 디스크는 Conflat 2.75 플랜지를 사용하여 9-11 PSIG 및 72°F 정격). 이들은 진공 챔버와 시스템 운영자를 보호하도록 설계된 초고진공(UHV) 애플리케이션에 대해 정격화된 모든 금속 밀봉 장치입니다. 버스트 디스크는 얇은 금속 호일 다이어프램으로 만들어졌으며, 스파이크 링으로 다시 밀려 디스크가 파열되어 즉각적인 압력 완화 경로가 가능합니다. 진공 챔버는 챔버 내부로 강제로 가해지는 대기압의 하중을 처리하도록 설계되었습니다. 플랜지, 뷰포트, 압축 포트 등과 같은 구성 요소가 파열되어 부상 위험이 발생할 수 있는 대기압 이상의 양압을 처리하도록 설계되지 않았습니다. 이러한 버스트 디스크의 사양은 다음과 같습니다. UHV 호환 모든 금속 구조, 컨플랫 CF 2.75 진공 플랜지, 압력 완화 범위 72°F에서 9-11PSIG, 헬륨 2x10-10 std.cc/sec까지 누출 방지, 316 스테인리스 스틸 본체 및 디스크 멤브레인, 450°C까지 베이크 가능.
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