原子层沉积 (ALD) 液体前体蒸汽输送气瓶系统，304L 不锈钢，DOT-3E-1800 150cm3 气瓶
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气缸体积：150cm3
气缸等级：DOT-3E-1800
在化学气相沉积 (CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 和原子层沉积 (ALD) 工艺中，需要控制来自液体前体的气相蒸汽输送。这些液体蒸汽气体输送气缸包含一个集成的起泡器，有助于将前体蒸汽包含在缓冲气体流中。这些蒸汽输送气缸由耐化学腐蚀的 316 不锈钢制成，入口和排气处有 ¼ 圈球阀。气缸额定承受压力高达 1800 PSI（@ 37°C）。
气缸最大压力额定值随温度而变化。请勿对气缸加压超过其各自的温度限制
每个阀门上都印有流动方向，当缓冲气体以正确的方向流向沉积过程时，气缸底部会形成气泡，这些气泡会通过前体液体上升。这允许缓冲气体中稀释的前体蒸汽持续稳定流动，缓冲气体通常是氦气、氖气或氩气。这些液体前体蒸汽输送气瓶可以是加热器或冷器，以控制前体的蒸汽压力和浓度。这可以产生准确的流量浓度。
入口和出口阀是 ¼ 英寸 Swagelok® 接头球阀，不适用于自燃液体。对于高度易燃自燃液体的 ALD 应用，我们的输送缸升级为隔膜阀，以提高安全性，适用于自燃液体，例如三甲基铝 (TMA)、三乙基铝 (TEA)、二乙基锌 (DEZn) 和三甲基镓 (TMGa)。
气缸最大压力额定值随温度而变化。请勿对气缸加压超过其各自的温度限制
每个阀门上都印有流动方向，当缓冲气体以正确的方向流向沉积过程时，气缸底部会形成气泡，这些气泡会通过前体液体上升。这允许缓冲气体中稀释的前体蒸汽持续稳定流动，缓冲气体通常是氦气、氖气或氩气。这些液体前体蒸汽输送气瓶可以是加热器或冷器，以控制前体的蒸汽压力和浓度。这可以产生准确的流量浓度。
入口和出口阀是 ¼ 英寸 Swagelok® 接头球阀，不适用于自燃液体。对于高度易燃自燃液体的 ALD 应用，我们的输送缸升级为隔膜阀，以提高安全性，适用于自燃液体，例如三甲基铝 (TMA)、三乙基铝 (TEA)、二乙基锌 (DEZn) 和三甲基镓 (TMGa)。
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