原子層沉積 (ALD) 液體前驅體蒸氣輸送鋼瓶系統，304L 不鏽鋼，DOT-3E-1800 150cm3 鋼瓶
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鋼瓶容積：150cm3
鋼瓶等級：DOT-3E-1800< /中心>
每個閥門上都印有流動方向，當緩衝氣體以正確的方向流向沉積過程時，氣泡會在閥門底部形成圓柱體通過前驅物液體上升。這使得緩衝氣體（通常是氦氣、氖氣或氬氣）中的稀釋前驅蒸氣能夠持續穩定地流動。 這些液體前驅物蒸氣輸送氣瓶可以是加熱器或冷的，以控制前驅物的蒸氣壓力和濃度。這允許產生準確的流量濃度。
入口閥和出口閥是 1/4 英吋 Swagelok® 接頭球閥，不適用於自燃液體。對於高度易燃自燃液體的ALD 應用，我們的輸送缸升級為隔膜閥，以提高安全性，適用於自燃液體，例如三甲基鋁(TMA)、三乙基鋁(TEA)、二乙基鋅(DEZn) 和三甲基鎵（TMGa）。
Swagelok-TM世偉洛克公司
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