원자층 증착(ALD) 액체 전구체 증기 공급 실린더 시스템, 304L 스테인리스 스틸, DOT-3E-1800 150cm3 실린더
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실린더 용량: 150cm3
실린더 등급: DOT-3E-1800
액체 전구체에서 기체 상태 증기를 제어하여 공급하는 것은 화학 기상 증착(CVD), 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD), 원자층 증착(ALD) 공정에 필요합니다. 이러한 액체 증기 가스 공급 실린더에는 버퍼 가스 흐름에서 전구체 증기를 억제하는 데 도움이 되는 통합 버블러가 포함되어 있습니다. 이러한 증기 공급 실린더는 입구와 배기에 ¼ 회전 볼 밸브가 있는 내화학성 316 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 실린더는 최대 1800 PSI(@ 37°C)의 압력을 견딜 수 있도록 정격화되어 있습니다.
실린더 최대 압력 정격은 온도에 따라 다릅니다. 실린더에 해당 온도 한계를 초과하여 압력을 가하지 마십시오.
흐름 방향은 각 밸브에 인쇄되어 있으며, 버퍼 가스가 증착 공정을 향해 올바른 방향으로 흐르면 실린더 바닥에 거품이 형성되어 전구체 액체를 통해 올라갑니다. 이를 통해 버퍼 가스에서 희석된 전구체 증기가 일정하게 안정적으로 흐를 수 있으며, 이는 일반적으로 헬륨, 네온 또는 아르곤입니다. 이러한 액체 전구체 증기 공급 가스 실린더는 히터 또는 차갑게 하여 전구체의 증기압과 농도를 제어할 수 있습니다. 이를 통해 정확한 흐름 농도를 생성할 수 있습니다.
입구 및 출구 밸브는 ¼인치 Swagelok® 피팅 볼 밸브이며, 자연 발화성 액체에는 정격이 없습니다. 고인화성 자연발화성 액체를 사용하는 ALD 적용을 위해 당사의 공급 실린더는 다이어프램 밸브로 업그레이드되어 안전성이 향상되었으며, 트리메틸 알루미늄(TMA), 트리에틸 알루미늄(TEA), 디에틸 아연(DEZn), 트리메틸 갈륨(TMGa)과 같은 자연발화성 액체에 적용이 가능해졌습니다.
실린더 최대 압력 정격은 온도에 따라 다릅니다. 실린더에 해당 온도 한계를 초과하여 압력을 가하지 마십시오.
흐름 방향은 각 밸브에 인쇄되어 있으며, 버퍼 가스가 증착 공정을 향해 올바른 방향으로 흐르면 실린더 바닥에 거품이 형성되어 전구체 액체를 통해 올라갑니다. 이를 통해 버퍼 가스에서 희석된 전구체 증기가 일정하게 안정적으로 흐를 수 있으며, 이는 일반적으로 헬륨, 네온 또는 아르곤입니다. 이러한 액체 전구체 증기 공급 가스 실린더는 히터 또는 차갑게 하여 전구체의 증기압과 농도를 제어할 수 있습니다. 이를 통해 정확한 흐름 농도를 생성할 수 있습니다.
입구 및 출구 밸브는 ¼인치 Swagelok® 피팅 볼 밸브이며, 자연 발화성 액체에는 정격이 없습니다. 고인화성 자연발화성 액체를 사용하는 ALD 적용을 위해 당사의 공급 실린더는 다이어프램 밸브로 업그레이드되어 안전성이 향상되었으며, 트리메틸 알루미늄(TMA), 트리에틸 알루미늄(TEA), 디에틸 아연(DEZn), 트리메틸 갈륨(TMGa)과 같은 자연발화성 액체에 적용이 가능해졌습니다.
Swagelok-TM Swagelok Company
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