原子層堆積 (ALD) 液体前駆体蒸気供給シリンダー システム、304L ステンレス鋼、DOT-3E-1800 150cm3 シリンダー
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シリンダー容量: 150cm3
シリンダー グレード: DOT-3E-1800
化学気相堆積 (CVD)、有機金属化学気相堆積 (MOCVD)、および原子層堆積 (ALD) のプロセスでは、液体前駆体からのガス相蒸気の制御された供給が必要です。これらの液体蒸気ガス供給シリンダーには、バッファー ガスの流れに前駆体蒸気を封じ込めるのに役立つ統合バブラーが含まれています。これらの蒸気供給シリンダーは、入口と排気口に 1/4 回転ボール バルブを備えた耐薬品性 316 ステンレス鋼で作られています。シリンダーは、1800 PSI（@ 37°C）までの圧力に耐えられると定格されています。
シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーを加圧しないでください。
流れの方向は各バルブに印刷されています。バッファーガスが堆積プロセスに向かって正しい方向に流れると、シリンダーの底に泡が形成され、前駆体液体を通って上昇します。これにより、バッファーガス（通常はヘリウム、ネオン、またはアルゴン）内の希薄前駆体蒸気が一定に流れます。これらの液体前駆体蒸気供給ガスシリンダーは、蒸気圧と前駆体の濃度を制御するために加熱または冷却することができます。これにより、正確な流量濃度を生成できます。
入口バルブと出口バルブは、1/4 インチの Swagelok® フィッティング ボール バルブで、自然発火性液体には対応していません。非常に可燃性の自然発火性液体を使用する ALD アプリケーションでは、安全性を向上させるためにダイヤフラム バルブでデリバリー シリンダーをアップグレードし、トリメチル アルミニウム (TMA)、トリエチル アルミニウム (TEA)、ジエチル亜鉛 (DEZn)、トリメチル ガリウム (TMGa) などの自然発火性液体に適用できるようになりました。
シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーを加圧しないでください。
流れの方向は各バルブに印刷されています。バッファーガスが堆積プロセスに向かって正しい方向に流れると、シリンダーの底に泡が形成され、前駆体液体を通って上昇します。これにより、バッファーガス（通常はヘリウム、ネオン、またはアルゴン）内の希薄前駆体蒸気が一定に流れます。これらの液体前駆体蒸気供給ガスシリンダーは、蒸気圧と前駆体の濃度を制御するために加熱または冷却することができます。これにより、正確な流量濃度を生成できます。
入口バルブと出口バルブは、1/4 インチの Swagelok® フィッティング ボール バルブで、自然発火性液体には対応していません。非常に可燃性の自然発火性液体を使用する ALD アプリケーションでは、安全性を向上させるためにダイヤフラム バルブでデリバリー シリンダーをアップグレードし、トリメチル アルミニウム (TMA)、トリエチル アルミニウム (TEA)、ジエチル亜鉛 (DEZn)、トリメチル ガリウム (TMGa) などの自然発火性液体に適用できるようになりました。
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