Agilent Varian VHS-6 および VHS-250 フォアライン バッフル アセンブリ、拡散ポンプ交換部品 PN L9172301
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Agilent Varian 部品番号 L9172301
これらの Agilent Varian VHS-6 および VHS-250 拡散ポンプ交換フォアライン バッフル アセンブリは、部品番号 L9172301 の OEM Agilent Varian 交換部品です。フォアライン バッフルは、拡散ポンプの粗引きライン排気アームにあります。これらは、高スループット条件下で拡散ポンプ オイルが粗引きポンプに運ばれるのを防ぐように設計されています。下の図のバルーン #6 で示されている VHS-6 拡散ポンプ粗引きライン アームを参照してください。
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