安捷伦瓦里安 TwisTorr 84-FS 涡轮分子真空泵，配备 ISO 63 入口，抽速为 67 L/S，适用于超高真空应用。部件号：X3502-64000
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需要冷却套件，安捷伦瓦里安部件编号 X3502-64000。
这些安捷伦瓦里安 TwisTorr 84 FS 涡轮分子真空泵具有 ISO 63 入口法兰，抽速为 67 L/S。 84 FS 涡轮泵是 74 FS 的增压版本，其 1350 Hz 超频驱动频率可使抽速提高 10%，使其成为超高真空 (UHV) 的专用泵。对于大多数通用高真空 (HV) 应用，Ideal Vacuum 推荐更经济可靠的 74 FS 涡轮泵型号。这些增强型 Agilent 84 FS 涡轮泵可为氢气和氦气等轻质气体提供更高的压缩比，从而提供更高的吞吐量并达到最低极限压力。这些 Agilent Varian 84 FS 涡轮分子高真空泵具有 ISO-63K 入口法兰，极限压力为 1x10-8 Torr（受入口 ISO 定心环中橡胶 O 形圈密封件排气限制），并且具有 Agilent Varian 部件编号 X3502-64000。Conflat 版本采用全金属密封的 conflat 入口垫圈，是真正的超高真空泵，正确使用时极限压力低至 3.75x10-10 Torr。这些 TwisTorr 84-FS 涡轮泵需要冷却套件（风扇强制风冷或水冷），以及外置远程机架安装或机载泵侧安装控制器，所有这些都由 Ideal Vacuum 单独出售。
这些 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 涡轮泵具有 ISO-63 入口法兰，氮气抽速为 67 l/s，KF-16 前级法兰，环境工作温度为 5 °C 至 +35 °C。这些 84 FS 涡轮泵的启动时间不到 2 分钟，转速为 81,000 rpm，推荐的前级粗抽泵为干式涡旋泵（IDP-3 或 IDP7）或油封旋片泵（DS-40M 或 DS-102）。强制风冷的冷却要求是环境空气温度为 5 至 35 °C，或水冷的最低流量为 0.30 gpm，温度为 15 至 25 °C，压力为 45 至 75 psi。
新款 Agilent Twistorr 84 FS 提供多种性能和功能，适用于各种 UHV 应用。 它可用于各种领域：
典型的涡轮泵应用包括：
真空研究与开发：
纳米技术仪器：
工业真空处理：
薄膜沉积：
设备处理：
一般工艺：
这些 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 涡轮泵具有 ISO-63 入口法兰，氮气抽速为 67 l/s，KF-16 前级法兰，环境工作温度为 5 °C 至 +35 °C。这些 84 FS 涡轮泵的启动时间不到 2 分钟，转速为 81,000 rpm，推荐的前级粗抽泵为干式涡旋泵（IDP-3 或 IDP7）或油封旋片泵（DS-40M 或 DS-102）。强制风冷的冷却要求是环境空气温度为 5 至 35 °C，或水冷的最低流量为 0.30 gpm，温度为 15 至 25 °C，压力为 45 至 75 psi。
新款 Agilent Twistorr 84 FS 提供多种性能和功能，适用于各种 UHV 应用。 它可用于各种领域：
典型的涡轮泵应用包括：
- 质谱分析
- 气相色谱质谱 (GC/MS)
- 液相色谱质谱 (LC/MS)
- 电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS)
- 飞行时间质谱 (TOF)
真空研究与开发：
- 高能物理
- 聚变技术
- 一般超高真空研究
- 同步加速器光源粒子加速器
纳米技术仪器：
- 电子显微镜
- 扫描电子显微镜 (SEM)
- 透射电子显微镜 (TEM)
- 聚焦离子束系统 (FIB)
- 表面分析
- 半导体制造
工业真空处理：
薄膜沉积：
- 玻璃涂层设备（建筑和汽车玻璃、平板显示器）
- 薄膜太阳能电池生产（光伏）
- 光学数据介质（CD、DVD、磁光盘）
- 磁性存储介质
- 表面处理
- 光学涂层（眼科、精密光电子）
- 薄膜或箔上的卷/网涂层
设备处理：
- 电视和监视器显像管制造
- 灯的抽真空（高速公路照明、光束器）
- X射线管和电子设备
一般工艺：
- 真空炉
- 冶金学
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