Agilent Varian TwisTorr 84-FS 渦輪分子真空泵，附 ISO 63 進樣口、67 L/S 抽速，適用於 UHV 應用。零件編號：X3502-64000
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安捷倫瓦里安 TwisTorr 84-FS 渦輪真空泵，附 ISO 63 入口、67 L/S 抽速，適用於 UHV 應用。
需要冷卻套件，Agilent Varian 零件號碼 X3502-64000。
這些 Agilent Varian TwisTorr 84 FS 渦輪分子真空幫浦具有 ISO 63 入口法蘭，抽速為 67 L/S。 84 FS 渦輪幫浦是 74 FS 的增壓版本，其 1350 Hz 超頻驅動頻率可將抽速提高 10%，使其成為超高真空 (UHV) 專用幫浦。對於大多數一般高真空 (HV) 應用，Ideal Vacuum 建議使用更經濟可靠的 74 FS 渦輪泵型號。這些增強型 Agilent 84 FS 渦輪幫浦可為氫氣和氦氣等輕質氣體提供更高的壓縮比，從而提高吞吐量並達到最低極限壓力。這些 Agilent Varian 84 FS 渦輪分子高真空幫浦具有 ISO-63K 入口法蘭，極限壓力為 1x10-8 Torr（受到入口 ISO 定心環中橡膠 O 形圈密封件排氣的限制），並具有安捷倫瓦里安零件號碼X3502-64000。 Conflat 版本配備全金屬密封的 Conflat 進氣墊圈，是真正的超高真空泵，正確使用時極限壓力可低至 3.75x10-10 Torr。這些 TwisTorr 84-FS 渦輪泵需要冷卻套件（風扇強制風冷或水冷）以及外側遠端機架安裝或板載泵側安裝控制器，所有這些均由 Ideal Vacuum 單獨出售。
這些 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 渦輪泵配有 ISO-63 入口法蘭、氮氣抽速為 67 l/s、KF-16 前級法蘭，環境工作溫度為 5 °C 至 +35 °C。這些 84 FS 渦輪幫浦的啟動時間不到 2 分鐘，轉速為 81,000 rpm，建議使用乾渦旋（IDP-3 或 IDP7）或油封旋轉葉片（DS-40M 或 DS）的前級低真空幫浦-102）。強制風冷的冷卻需求為環境空氣溫度為 5 至 35 °C，或水冷的最小流量為 0.30 gpm、15 至 25 °C、壓力為 45 至 75 psi。
全新 Agilent Twistorr 84 FS 兼具性能與功能，適合各種 UHV 應用。 它可用於多種領域：
典型渦輪幫浦應用包括：
真空研發：
奈米技術儀器：
工業真空處理：
薄膜沉積：
設備處理：
一般流程：
需要冷卻套件，Agilent Varian 零件號碼 X3502-64000。
這些 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 渦輪泵配有 ISO-63 入口法蘭、氮氣抽速為 67 l/s、KF-16 前級法蘭，環境工作溫度為 5 °C 至 +35 °C。這些 84 FS 渦輪幫浦的啟動時間不到 2 分鐘，轉速為 81,000 rpm，建議使用乾渦旋（IDP-3 或 IDP7）或油封旋轉葉片（DS-40M 或 DS）的前級低真空幫浦-102）。強制風冷的冷卻需求為環境空氣溫度為 5 至 35 °C，或水冷的最小流量為 0.30 gpm、15 至 25 °C、壓力為 45 至 75 psi。
全新 Agilent Twistorr 84 FS 兼具性能與功能，適合各種 UHV 應用。 它可用於多種領域：
典型渦輪幫浦應用包括：
- 質譜
- 氣相層析質譜 (GC/MS)
- 液相層析質譜 (LC/MS)
- 電感耦合等離子體質譜 (ICP-MS)
- 飛行時間質譜 (TOF)
真空研發：
- 高能物理
- 融合技術
- 一般特高壓研究
- 同步加速器光源粒子加速器
奈米技術儀器：
- 電子顯微鏡
- 掃描電子顯微鏡 (SEM)
- 透射電子顯微鏡 (TEM)
- 聚焦離子束系統 (FIB)
- 表面分析
- 半導體製造
工業真空處理：
薄膜沉積：
- 玻璃鍍膜設備（建築與汽車玻璃、平面顯示器）
- 薄膜太陽能電池生產（光伏）
- 光學資料媒體（CD、DVD、磁光碟）
- 磁性儲存媒體
- 表面處理
- 光學鍍膜（眼科、精密光電）
- 薄膜或箔片上的捲筒/捲筒塗層
設備處理：
- 電視和電視監視器顯像管製造
- 疏散燈具（高速公路照明、光束燈）
- X 射線管和 X 射線管電子設備
一般流程：
- 真空爐
- 冶金
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