Agilent Varian TwisTorr 84-FS ターボ分子真空ポンプ、ISO 63 インレット、67 L/S ポンピング速度、UHV アプリケーション用。PN: X3502-64000

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Agilent Varian TwisTorr 84-FS ターボ真空ポンプ、ISO 63 インレット、67 L/S ポンピング速度、UHV アプリケーション用。
冷却キットが必要、Agilent Varian 部品番号 X3502-64000。

これらの Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ分子真空ポンプには、ISO 63 インレットフランジがあり、67 L/S ポンピング速度です。 84 FS ターボポンプは 74 FS のスーパーチャージバージョンで、1350 Hz のオーバークロックされた駆動周波数により、ポンピング速度が 10% 向上し、超高真空 (UHV) 専用のポンプとなっています。Ideal Vacuum では、一般的な高真空 (HV) 用途のほとんどに、より経済的で信頼性の高い 74 FS ターボポンプモデルを推奨しています。これらの強化された Agilent 84 FS ターボポンプは、水素やヘリウムなどの軽いガスの圧縮比を高め、スループットを高めて到達圧力を最低にします。これらの Agilent Varian 84 FS ターボ分子高真空ポンプには、ISO-63K 入口フランジ、到達圧力 1x10-8 Torr (これは、吸入 ISO センタリングリングのゴム製 O リングシールからのガス放出によって制限されます) があり、Agilent Varian の部品番号は X3502-64000 です。金属シールされたコンフラット吸気ガスケットを備えたコンフラットバージョンは、正しく使用すれば到達圧力が 3.75x10-10 Torr まで低下する真の超高真空ポンプです。これらの TwisTorr 84-FS ターボポンプには、ファン強制空冷または水冷のいずれかの冷却キットと、アウトボードリモートラックマウントまたはオンボードポンプサイドマウントコントローラが必要です。これらはすべて Ideal Vacuum から別売りです。

これらの Agilent Varian TwistTorr 84 FS ターボポンプには、ISO-63 吸気フランジ、窒素のポンピング速度 67 l/s、KF-16 フォアラインフランジ、および 5 °C ～ +35 °C の周囲動作温度があります。これらの 84 FS ターボポンプは、起動時間が 2 分未満、回転速度が 81,000 rpm で、推奨フォアライン粗引きポンプはドライスクロール (IDP-3 または IDP7) またはオイルシールロータリーベーン (DS-40M または DS-102) です。強制空冷の場合の冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C で、水冷の場合は 45 ～ 75 psi で 15 ～ 25 °C の最小流量が 0.30 gpm です。

新しい Agilent Twistorr 84 FS は、幅広い UHV アプリケーションに適したパフォーマンスと機能を兼ね備えています。さまざまな分野で使用できます:

ターボポンプの一般的な用途には以下が含まれます: