Agilent Varian TwisTorr 74-FS 経済的で信頼性の高いターボ分子真空ポンプ、ISO-63 インレット、60 L/S ポンピング速度、PN: X3502-64170
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冷却キットが必要、Agilent Varian 部品番号 PN: X3502-64170。
これらの Agilent Varian TwisTorr 74 FS ターボ分子真空ポンプには、ISO-63 インレット フランジ、60 L/S ポンピング速度、および特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションが搭載されています。 74 FS モデルは信頼性の高いコンパクト ターボ ポンプで、1167 Hz の駆動周波数によりベアリング寿命が長く、高真空用途向けの経済的で信頼できるポンプです。新設計のラビリンス Twistorr ドラッグ ステージ技術、Agilent フローティング サスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、性能が向上しています。この技術により、エネルギー効率が高く、動作温度を低く維持するコンパクトなローター設計が実現しました。Agilent フローティング サスペンション システム (AFS) は、ノイズと振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永久潤滑を備えた独自のセラミック ボール ベアリングにより、オイルとメンテナンスが不要になり、ポンプをどの方向でも操作できます。TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽いガスに対して高い圧縮比を生み出し、高スループットとフォアライン圧力に対する高い許容度を実現し、より小型で経済的なバックアップ ポンプの使用を可能にします。これらの Agilent Varian 74 FS ターボ分子高真空ポンプには、ISO-63K 入口フランジ、1x10-8 Torr の到達圧力 (これは、吸入 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます) があり、Agilent Varian の部品番号は X3502-64170 です。すべて金属シールのコンフラット吸入ガスケットを備えた Conflat バージョンは、正しく使用した場合の到達圧力が 3.75x10-10 Torr まで低下する真の超高真空ポンプです。これらの TwisTorr 74-FS ターボ ポンプには、アウトボード リモート ラック マウントまたはオンボード ポンプ側マウント コントローラが必要です。必要なターボ ポンプ冷却キット (ファン強制空冷または水冷) は別売りです。
これらの Agilent Varian TwistTorr 74 FS ターボ ポンプは、ISO-63K 入口フランジを備え、窒素のポンピング速度は 60 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、周囲動作温度は 5 °C ～ +35 °C です。これらの 74 FS ターボ ポンプの起動時間は 2 分未満、回転速度は 70,000 rpm で、推奨されるフォアライン粗引きポンプはドライ スクロール (IDP-3 または IDP7) またはオイル シール ロータリー ベーン (DS-40M または DS-102) です。強制空冷の冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C で、水冷の場合は最小流量 0.30 gpm、15 ～ 25 °C、45 ～ 75 psi です。
新しい Agilent Twistorr 74 FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能を兼ね備えています。 これは非常に用途の広いターボポンプであり、さまざまな分野で使用できます。
ターボポンプの一般的な用途は次のとおりです。
研究開発における真空:
ナノテクノロジー機器:
工業用真空処理:
薄膜堆積:
デバイス処理:
一般プロセス:
これらの Agilent Varian TwistTorr 74 FS ターボ ポンプは、ISO-63K 入口フランジを備え、窒素のポンピング速度は 60 l/s、KF-16 フォアライン フランジ、周囲動作温度は 5 °C ～ +35 °C です。これらの 74 FS ターボ ポンプの起動時間は 2 分未満、回転速度は 70,000 rpm で、推奨されるフォアライン粗引きポンプはドライ スクロール (IDP-3 または IDP7) またはオイル シール ロータリー ベーン (DS-40M または DS-102) です。強制空冷の冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C で、水冷の場合は最小流量 0.30 gpm、15 ～ 25 °C、45 ～ 75 psi です。
新しい Agilent Twistorr 74 FS は、幅広いアプリケーションに適したパフォーマンスと機能を兼ね備えています。 これは非常に用途の広いターボポンプであり、さまざまな分野で使用できます。
ターボポンプの一般的な用途は次のとおりです。
- 質量分析
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析 (TOF)
研究開発における真空:
- 高エネルギー物理学
- 核融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:
- 電子顕微鏡
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:
薄膜堆積:
- ガラスコーティング装置 (建築用および自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ)
- 薄膜太陽電池製造 (光起電)
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶メディア
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはホイルへのロール/ウェブコーティング
デバイス処理:
- テレビおよびモニターのブラウン管製造
- ランプの真空引き (高速道路照明、プロジェクター)
- X 線管および電子デバイス
一般プロセス:
- 真空炉
- 冶金学
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