Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 분자 진공 펌프, Conflat CF 10인치 입구 플랜지, 펌핑 속도 950L/S, PN: 9698932

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Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 분자 진공 펌프, Conflat CF 10인치 유입 플랜지, 펌핑 속도 950L/S.
냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 9698932.

이 Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 분자 고진공 펌프는 Conflat 10인치 유입 플랜지, 1x10-10 Torr의 최대 압력, Agilent Varian 부품 번호 9698932를 갖추고 있습니다. Turbo-V 1001 터보 펌프는 최소 비용과 크기로 성능을 극대화하며, 질소(N2) 펌핑 속도는 950l/s입니다. 모든 펌핑 프로필에서 Turbo V 1001을 작동시키는 데 사용할 수 있는 14 CFM(예: IDP-15 건식 스크롤 또는 DS402 회전 베인 진공 펌프)만큼 작은 기본 펌프 크기를 권장합니다. Turbo-V 1001은 가벼운 가스에 대한 고압축 비율을 달성하고 펌프의 처리량을 극대화하기 위해 MacroTorr 드래그 스테이지 기술을 포함하는 복합 펌프입니다. Conflat 흡입구가 있는 Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 펌프는 올바르게 사용하면 궁극 압력이 1x10-10 Torr만큼 낮은 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다. 예를 들어, 이러한 펌프의 Conflat 버전은 흡입 플랜지를 섭씨 120도까지 베이킹할 수 있습니다.

정의에 따르면 Turbo-V 1001의 Navigator 버전은 터보 펌프 컨트롤러가 터보 펌프 아래에 로컬로 장착되어 있으며 Navigator 컨트롤러 부품 번호는 9698978입니다. 그러나 Turbo-V 1001이 랙 마운트 컨트롤러로 구동되는 경우 Navigator라고 하지 않고 단순히 Turbo V 1001 터보 펌프라고 합니다. 랙 마운트 컨트롤러는 Agilent 부품 번호 X3501-64003입니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigators(펌프 아래에 컨트롤러 장착)는 종종 전자 현미경(SEM, TEM), 집속 이온빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 많은 분석 계측기 애플리케이션에 통합됩니다. SEM, TEM 및 FIB와 같은 최신 집속 빔 시스템은 자세한 분석을 위해 전자 또는 이온을 미세한 샘플에 투사하는 컬럼을 활용합니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 터보 펌프는 대형 샘플 챔버의 빠르고 오일 없는 공기 배출을 제공하기 때문에 최신 집속 빔 시스템의 핵심 구성 요소입니다(오일 없는 작동은 반도체 제조와 같은 많은 최신 분석 응용 분야의 핵심 요구 사항입니다).

Agilent Varian Turbo-V 1001 기능:
  • 낮은 기본 압력에서 작동이 가능한 가벼운 가스에 대한 높은 압축 비율
  • 깨끗한 진공 시스템을 위한 탄화수소 없음
  • 원격 컨트롤러로 100m 떨어진 곳에서 작동 가능
  • 모든 위치에 설치 가능하여 간편한 통합 가능
  • 유지 관리가 필요 없는 베어링으로 ​​운영 비용 없음
  • 이동 중에도 펌프 작동을 위한 Vacuum Link 앱을 통한 무선 제어 가능
  • 방사선 및 자기장 방지 설계
  • 내장된 전자 장치가 없어 까다로운 자기장 및 방사선 환경에서 작동 가능
  • 낮은 전자기 방출로 애플리케이션 프로세스에 방해가 되지 않음
  • 시스템에 미치는 영향이 없는 낮은 진동 및 소음 수준

Agilent Varian Turbo-V 1001 사양:
  • 주변 작동 온도: +5 ~ +35 °C
  • 주변 보관 온도: -20 ~ +70 °C
  • 기본 압력: <1 x 10-10 Torr
  • 압축 비율 H2: 1 x 10^6
  • 플랜지 유형: Conflat 10인치
  • 포라인 플랜지 크기: KF 40 NW
  • 최대 가스 처리량 - Ar, 수냉: 7.5 mbar L/s; 444 sccm
  • 최대 가스 처리량 - N2, 수냉: 10 mbar L/s; 592 sccm
  • 소음 수준: 45 dB(A)
  • 공칭 회전 속도: 38 KRPM
  • 작동 위치: 임의
  • 펌핑 속도 - H2: 900 L/s(CF 10인치 플랜지)
  • 펌핑 속도 - He: 870 L/s(CF 10인치 플랜지)
  • 펌핑 속도 - N2: 950 L/s(CF 10인치 플랜지)
  • 권장 포어펌프 용량: 15 m³/h
  • 시동 시간: < 4분
  • 무게: 21.2 kg


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Agilent-Turbo-V1001-User-Manual.pdf (Agilent-Turbo-V1001-User-Manual.pdf, 3,631 Kb) [다운로드]

Agilent-Turbo-V1001-Rack-Controller_Manual.pdf (Agilent-Turbo-V1001-Rack-Controller_Manual.pdf, 2,836 Kb) [다운로드]

Agilent_Turbo_V_1001_TV1001_Navigator_Controller.pdf (Agilent_Turbo_V_1001_TV1001_Navigator_Controller.pdf, 6,363 Kb) [다운로드]

Agilent_Turbomolecular_Pump_Installation_and_Flange_Fastening_Handbook.pdf (Agilent_Turbomolecular_Pump_Installation_and_Flange_Fastening_Handbook.pdf, 107 Kb) [다운로드]

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