Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ、Conflat CF 10 インチ入口フランジ、排気速度 950 L/S、PN: 9698932
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冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 9698932。
これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子高真空ポンプには、コンフラット 10 インチ入口フランジ、到達圧力 1x10-10 Torr、Agilent Varian 部品番号 9698932 があります。Turbo-V 1001 ターボポンプは、最小のコストとサイズで最大のパフォーマンスを発揮し、窒素 (N2) のポンピング速度は 950 l/s です。Turbo V 1001 をすべてのポンピング プロファイルで動作させるために使用できる、14 CFM の小型プライマリ ポンプ サイズ (IDP-15 ドライ スクロール ポンプまたは DS402 ロータリー ベーン 真空ポンプなど) をお勧めします。 Turbo-V 1001 は、軽質ガスの高圧縮比を実現し、ポンプのスループットを最大化する MacroTorr ドラッグ ステージ技術を搭載した複合ポンプです。コンフラット吸気口を備えた Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ ポンプは、正しく使用すれば到達圧力が 1x10-10 Torr まで低下する真の超高真空 (UHV) ポンプです。たとえば、これらのポンプのコンフラット バージョンでは、吸気フランジを最大 120 ℃ まで加熱できます。
定義上、Turbo-V 1001 の Navigator バージョンには、ターボ ポンプの下にローカルに取り付けられたターボ ポンプ コントローラがあり、Navigator コントローラの部品番号は 9698978 です。ただし、Turbo-V 1001 がラック マウント コントローラによって電源供給されている場合は、Navigator とは呼ばれず、単に Turbo V 1001 ターボ ポンプと呼ばれます。ラック マウント コントローラの Agilent 部品番号は X3501-64003 です。Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator (ポンプの下に取り付けられたコントローラ付き) は、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオン ビーム システム (FIB)、表面分析など、多くの分析機器アプリケーションに統合されることがよくあります。SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビーム システムでは、詳細な分析のために電子またはイオンを微細なサンプルに投影するカラムを使用します。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator ターボポンプは、大型サンプルチャンバーの高速なオイルフリー空気排出を実現するため、最新の集束ビームシステムの重要なコンポーネントです (オイルフリー操作は、半導体製造などの多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。
Agilent Varian Turbo-V 1001 の特徴:
Agilent Varian Turbo-V 1001 仕様:
定義上、Turbo-V 1001 の Navigator バージョンには、ターボ ポンプの下にローカルに取り付けられたターボ ポンプ コントローラがあり、Navigator コントローラの部品番号は 9698978 です。ただし、Turbo-V 1001 がラック マウント コントローラによって電源供給されている場合は、Navigator とは呼ばれず、単に Turbo V 1001 ターボ ポンプと呼ばれます。ラック マウント コントローラの Agilent 部品番号は X3501-64003 です。Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator (ポンプの下に取り付けられたコントローラ付き) は、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオン ビーム システム (FIB)、表面分析など、多くの分析機器アプリケーションに統合されることがよくあります。SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビーム システムでは、詳細な分析のために電子またはイオンを微細なサンプルに投影するカラムを使用します。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator ターボポンプは、大型サンプルチャンバーの高速なオイルフリー空気排出を実現するため、最新の集束ビームシステムの重要なコンポーネントです (オイルフリー操作は、半導体製造などの多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。
Agilent Varian Turbo-V 1001 の特徴:
- 軽質ガス用の高圧縮比により、低いベース圧力での操作が可能
- 炭化水素を含まないため、クリーンな真空システムを実現
- リモート コントローラーにより、100 m 離れた場所からの操作が可能
- 任意の位置に取り付けることができるため、簡単に統合できます
- メンテナンス不要のベアリングにより、運用コストがゼロ
- Vacuum Link アプリによるワイヤレス制御に対応し、外出先でもポンプを操作できます
- 耐放射線および耐磁場設計
- 電子機器が組み込まれていないため、厳しい磁場および放射線環境でも操作できます
- 電磁放射が低いため、アプリケーション プロセスに干渉しません
- 振動および騒音レベルが低いため、システムへの影響がゼロ
Agilent Varian Turbo-V 1001 仕様:
- 動作周囲温度: +5 ～ +35 °C
- 保管周囲温度: -20 ～ +70 °C
- ベース圧力: <1 x 10-10 Torr
- 圧縮比 H2: 1 x 10^6
- フランジタイプ: Conflat 10 インチ
- フォアライン フランジ サイズ: KF 40 NW
- 最大ガス スループット - Ar、水冷: 7.5 mbar L/s、444 sccm
- 最大ガス スループット - N2、水冷: 10 mbar L/s、 592 sccm
- 騒音レベル: 45 dB(A)
- 公称回転速度: 38 KRPM
- 動作位置: 任意
- ポンピング速度 - H2: 900 L/s (CF 10 インチ フランジ)
- ポンピング速度 - He: 870 L/s (CF 10 インチ フランジ)
- ポンピング速度 - N2: 950 L/s (CF 10 インチ フランジ)
- 推奨フォアポンプ容量: 15 m³/h
- 起動時間: 4 分未満
- 重量: 21.2 kg
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