Agilent Varian TPS-Compact Dry 74FS ターボ分子真空ポンプ システム、CF 4.5 インレット フランジ。PN: X3580A-010-022-120
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製品番号 X3580A-010-022-120 (Varian 番号 9698220 の代替)
Agilent Varian TPS-Compact は、ドライ高真空ターボ分子ポンプ システムです。TPS-Compact は、74FS ターボ ポンプ (最大排気速度 60 l/s) または最新のツイストール技術を採用した 305FS (最大排気速度 250 l/s) と一緒に注文できます。TPS-Compact システムは、その名のとおり小型でコンパクト、ポンプ ダウン時間が短いです。 TPS-Compact は、到達圧力が 1x10-9 Torr の完全ドライ高真空ポンプ システムです。TPS-Compact 内のバックアップ ポンプは、60 l/min の Varian IDP-3 ドライ スクロール真空ポンプです。Varian TPS-Compact はオイルフリーの高性能真空ポンプ システムで、優れたスクロール ポンプ性能により消費電力が低減されています。Agilent Varian TPS-Compact は、コスト効率に優れながら、要求の厳しいアプリケーションに対応するように設計されています。これらのユニットは、KF 40、ISO 63、CF 2.75、CF 4.5 構成で注文できます。これらのユニットは新品で、Agilent Varian の工場保証が付いています。50/60 Hz の単相 115 または 220 VAC で動作するように注文できます。
オプションの Varian FRG-700 フルレンジ (アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ) は、大気圧から 3.8x10-9 Torr までの真空圧を測定できます。Agilent Varian MiniTask、TPS Compact、および Varian AG ターボ ポンプ コントローラは、FRG-700 ゲージを制御できます。FRG-700 ゲージでは、圧力の読み取り値がデバイスの前面に表示されます。これらのゲージは、TPS-Compact ユニットの前面にある内蔵ディスプレイとインターフェイスし、圧力の読み取り値は mbar、Torr、または Pascal で表示できます。これらのシステムのコントローラ ディスプレイは、RS-232 またはアナログ通信と互換性があります。また、Varian FRG-700 アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ、ゲージ接続用ケーブル、接続ハードウェア付き真空 T 字継手を含むフルレンジ ゲージ キットも提供しています。
このユニットは、ホイール付きでもご利用いただけます。すべての TPS-Compact ユニットは、PC 経由で T-Plus ソフトウェアを使用して操作できます (PC は付属していません)。完全な仕様とアプリケーション パンフレット (PDF 形式) は、以下からダウンロードできます。4.5 インチ Conflat 吸気口を備えた新しい TPS Compact 74FS の部品番号は Agilent Varian X3580A-010-022-120 で、現在製造中止となっている Varian TPS Compact V81M (部品番号 9698220) の後継品です。
オプションの Varian FRG-700 フルレンジ (アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ) は、大気圧から 3.8x10-9 Torr までの真空圧を測定できます。Agilent Varian MiniTask、TPS Compact、および Varian AG ターボ ポンプ コントローラは、FRG-700 ゲージを制御できます。FRG-700 ゲージでは、圧力の読み取り値がデバイスの前面に表示されます。これらのゲージは、TPS-Compact ユニットの前面にある内蔵ディスプレイとインターフェイスし、圧力の読み取り値は mbar、Torr、または Pascal で表示できます。これらのシステムのコントローラ ディスプレイは、RS-232 またはアナログ通信と互換性があります。また、Varian FRG-700 アクティブ ピラニおよび逆マグネトロン ゲージ、ゲージ接続用ケーブル、接続ハードウェア付き真空 T 字継手を含むフルレンジ ゲージ キットも提供しています。
このユニットは、ホイール付きでもご利用いただけます。すべての TPS-Compact ユニットは、PC 経由で T-Plus ソフトウェアを使用して操作できます (PC は付属していません)。完全な仕様とアプリケーション パンフレット (PDF 形式) は、以下からダウンロードできます。4.5 インチ Conflat 吸気口を備えた新しい TPS Compact 74FS の部品番号は Agilent Varian X3580A-010-022-120 で、現在製造中止となっている Varian TPS Compact V81M (部品番号 9698220) の後継品です。
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