安捷倫瓦里安鈦熱昇華泵 (TSP) 燈絲 2.75,採用 Conflat 法蘭。零件號 9160050

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<中心> 安捷倫瓦里安鈦昇華幫浦 (TSP) 燈絲替換零件,可吸氣氣體,外徑 2.75 (2-3⁄4) 平法蘭。 安捷倫瓦里安零件號碼 9160050

TSP 濾筒安裝在 2-3⁄4 英吋外徑 ConFlat 法蘭上,包含三個鈦鉬絲,每個絲含有 1.1 克可用鈦。筒組件可烘烤至最高 400°C。鈦昇華泵 (TSP) 通常用作在特高壓系統中泵送可吸氣氣體(例如氫氣和氮氣)的有效方法。 TSP 通常與離子泵結合使用,因為離子泵對於不可吸氣的 UHV 氣體(如氬氣和甲烷)非常有效。 TSP 可以添加到離子幫浦內部,或作為單獨的幫浦單元。如果TSP與液態氮冷卻低溫板結合使用,將可達到超高的抽水速度。

瓦里安提供兩種不同類型的鈦熱昇華泵:燈絲源和鈦球源。絲狀TSP 源在特高壓系統中最受歡迎,因為它們可以在昇華之間關閉,因此不添加 熱致脫氣。球型源含有大量鈦,這意味著使用壽命更長 在使用更多鈦的條件下操作,例如更高的操作壓力。然而,球源在昇華之間需要備用電源,以防止鈦球中形成裂縫。影響鈦昇華泵送效率的因素包括昇華速率、頻率、表面積和溫度。昇華抽速通常是低於 10-7 mbar 的恆定值。

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