Agilent Varian 티타늄 승화 펌프(TSP) 필라멘트 2.75(ConFlat 플랜지). PN 9160050
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TSP 카트리지는 2-3⁄4 in OD ConFlat 플랜지에 제공되며 각각 1.1g의 사용 가능한 티타늄이 포함된 3개의 티타늄-몰리브덴 필라멘트가 들어 있습니다. 카트리지 어셈블리는 최대 400°C까지 구울 수 있습니다. 티타늄 승화 펌프(TSP)는 일반적으로 UHV 시스템에서 수소 및 질소와 같은 게터 가능 가스를 펌핑하는 효과적인 방법으로 사용됩니다. TSP는 종종 이온 펌핑과 결합되는데, 이온 펌프는 아르곤 및 메탄과 같은 비게터링 UHV 가스에 효과적이기 때문입니다. TSP는 이온 펌프 내부에 추가하거나 별도의 펌핑 장치로 사용할 수 있습니다. TSP를 액체 질소 냉각 크라이오패널과 함께 사용하면 매우 빠른 물 펌핑 속도가 달성됩니다.
Varian은 필라멘트 및 티타늄 볼 소스의 두 가지 유형의 티타늄 승화 펌프를 제공합니다. 필라멘트 유형 TSP 소스는 승화 사이에 끌 수 있고 따라서 열적으로 유도된 가스 방출을 추가하지 않기 때문에 UHV 시스템에서 가장 인기가 있습니다. 볼 유형 소스에는 티타늄이 더 많이 포함되어 있어 더 많은 티타늄을 사용하는 조건(예: 더 높은 작동 압력)에서 작동할 때 수명이 더 깁니다. 그러나 볼 소스는 티타늄 볼에 균열이 생기는 것을 방지하기 위해 승화 사이에 대기 전원이 필요합니다. 티타늄 승화 펌핑 효율에 영향을 미치는 요인에는 승화 속도, 주파수, 표면적 및 온도가 있습니다. 승화 펌핑 속도는 일반적으로 10-7 mbar 이하의 일정한 값입니다.
Varian은 필라멘트 및 티타늄 볼 소스의 두 가지 유형의 티타늄 승화 펌프를 제공합니다. 필라멘트 유형 TSP 소스는 승화 사이에 끌 수 있고 따라서 열적으로 유도된 가스 방출을 추가하지 않기 때문에 UHV 시스템에서 가장 인기가 있습니다. 볼 유형 소스에는 티타늄이 더 많이 포함되어 있어 더 많은 티타늄을 사용하는 조건(예: 더 높은 작동 압력)에서 작동할 때 수명이 더 깁니다. 그러나 볼 소스는 티타늄 볼에 균열이 생기는 것을 방지하기 위해 승화 사이에 대기 전원이 필요합니다. 티타늄 승화 펌핑 효율에 영향을 미치는 요인에는 승화 속도, 주파수, 표면적 및 온도가 있습니다. 승화 펌핑 속도는 일반적으로 10-7 mbar 이하의 일정한 값입니다.
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