Agilent Varian チタンサブリメーションポンプ (TSP) フィラメント 2.75 インチ コンフラット フランジ。 PN 9160050
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TSP カートリッジは 2-3⁄4 インチ OD コンフラット フランジに取り付けられており、3 つのチタン モリブデン フィラメント (それぞれ 1.1 グラムの使用可能なチタンを含む) が含まれています。カートリッジ アセンブリは最大 400° C までベーク可能です。チタン サブリメーション ポンプ (TSP) は、通常、UHV システムで水素や窒素などのゲッタブル ガスをポンプで送る効果的な方法として使用されます。 TSP はイオンポンプと組み合わせられることが多く、これはイオンポンプがアルゴンやメタンなどのゲッタブルでない UHV ガスに効果的であるためです。TSP はイオンポンプの内部に追加することも、別のポンプユニットとして追加することもできます。TSP を液体窒素冷却クライオパネルと組み合わせて使用すると、非常に高い水ポンプ速度が実現します。
Varian は、フィラメント型とチタンボール型の 2 種類のチタン昇華ポンプを提供しています。フィラメント型の TSP 源は昇華の合間に電源をオフにできるため、熱によるガス放出がないため、UHV システムで最も人気があります。ボール型の源にはチタンが多く含まれているため、より高い動作圧力など、より多くのチタンを使用する条件で動作する場合、寿命が長くなります。ただし、ボール型源では、チタンボールに亀裂が生じないように、昇華の合間にスタンバイ電源が必要です。チタン昇華ポンピング効率に影響を与える要因には、昇華速度、頻度、表面積、温度などがあります。昇華ポンピング速度は、通常、10-7 mbar 未満の一定値です。
Varian は、フィラメント型とチタンボール型の 2 種類のチタン昇華ポンプを提供しています。フィラメント型の TSP 源は昇華の合間に電源をオフにできるため、熱によるガス放出がないため、UHV システムで最も人気があります。ボール型の源にはチタンが多く含まれているため、より高い動作圧力など、より多くのチタンを使用する条件で動作する場合、寿命が長くなります。ただし、ボール型源では、チタンボールに亀裂が生じないように、昇華の合間にスタンバイ電源が必要です。チタン昇華ポンピング効率に影響を与える要因には、昇華速度、頻度、表面積、温度などがあります。昇華ポンピング速度は、通常、10-7 mbar 未満の一定値です。
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