Filament pour pompes à sublimation en titane Agilent Varian (TSP) 2,75 po à bride conflat. Réf. 9160050

La cartouche TSP est fournie sur une bride ConFlat de 2-3⁄4 po de diamètre extérieur et contient trois filaments en titane-molybdène, chacun avec 1,1 gramme de titane utilisable. L'ensemble de cartouche peut être cuit à 400 °C. Maximum. Les pompes à sublimation en titane (TSP) sont généralement utilisées comme moyen efficace de pomper des gaz récupérables tels que l'hydrogène et l'azote dans les systèmes UHV. Les TSP sont souvent combinés avec le pompage ionique, car la pompe ionique est efficace avec des gaz UHV non récupérables tels que l'argon et le méthane. Le TSP peut être ajouté à l'intérieur de la pompe ionique ou en tant qu'unité de pompage séparée. Si le TSP est utilisé en conjonction avec un cryopanneau refroidi à l'azote liquide, une vitesse de pompage d'eau très élevée sera atteinte.

Varian propose deux types différents de pompes à sublimation en titane : les sources à filament et à bille de titane. Les sources TSP de type filament sont les plus populaires avec les systèmes UHV car elles peuvent être éteintes entre les sublimations et n'ajoutent donc pas de dégazage induit thermiquement. Les sources de type bille contiennent de plus grandes quantités de titane, ce qui signifie une durée de vie plus longue lorsqu'elles fonctionnent dans des conditions qui utilisent plus de titane, comme des pressions de fonctionnement plus élevées. Cependant, les sources à bille nécessitent une alimentation de secours entre les sublimations pour éviter la formation de fissures dans la bille de titane. Les facteurs affectant l'efficacité du pompage par sublimation du titane comprennent le taux de sublimation, la fréquence, la surface et la température. La vitesse de pompage par sublimation est généralement une valeur constante inférieure à 10^-7 mbar.