安捷伦瓦里安钛热升华泵 (TSP) 灯丝 2.75，采用 Conflat 法兰。零件号 9160050
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TSP 盒装在 2-3⁄4 英寸 OD ConFlat 法兰上，包含三根钛钼灯丝，每根灯丝含有 1.1 克可用钛。盒装组件可烘烤至最高 400° C。钛升华泵 (TSP) 通常用作在 UHV 系统中泵送可吸气气体（例如氢气和氮气）的有效方法。 TSP 通常与离子泵结合使用，因为离子泵对不可吸气的 UHV 气体（如氩气和甲烷）有效。TSP 可以添加到离子泵内部，也可以作为单独的泵送单元。如果 TSP 与液氮冷却低温板结合使用，则可以实现超高水泵送速度。
Varian 提供两种不同类型的钛升华泵：灯丝和钛球源。灯丝型 TSP 源在 UHV 系统中最受欢迎，因为它们可以在升华之间关闭，因此不会增加 热诱导排气。球型源含有更多的钛，这意味着在使用更多钛的条件下（例如更高的工作压力）运行时寿命更长。但是，球源在升华之间需要备用电源，以防止钛球中形成裂纹。影响钛升华泵送效率的因素包括升华速率、频率、表面积和温度。升华抽速一般为10-7 mbar以下的恒定值。
Varian 提供两种不同类型的钛升华泵：灯丝和钛球源。灯丝型 TSP 源在 UHV 系统中最受欢迎，因为它们可以在升华之间关闭，因此不会增加 热诱导排气。球型源含有更多的钛，这意味着在使用更多钛的条件下（例如更高的工作压力）运行时寿命更长。但是，球源在升华之间需要备用电源，以防止钛球中形成裂纹。影响钛升华泵送效率的因素包括升华速率、频率、表面积和温度。升华抽速一般为10-7 mbar以下的恒定值。
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