Agilent Varian IDP-15 IDP15 건식 스크롤 진공 펌프, 통합 격리 밸브 포함, 1상, PN: X3815-64010

Agilent Varian IDP-15 건식 스크롤 진공 펌프는 매우 조용한 < 50 dBA 및 낮은 진동 작동을 위해 설계되었으며, 60Hz에서 최대 펌핑 속도 9.4cfm(15.4m3/h)을 제공하고 최대 압력 10mTorr를 생성합니다. 이 새로운 Agilent IDP-15 건식 스크롤 펌프는 밀폐형으로 희가스 및 헬륨 3He 재순환 응용 분야에 적합합니다. 진공 공간이 모터와 베어링에서 완전히 분리된 밀폐형 설계는 펌프를 통과하는 깨끗한 가스 경로를 제공하여 오일이나 그리스 오염 위험을 제거합니다. IDP-15의 이러한 핵심 설계 요소 덕분에 모터와 베어링은 대기압에서 작동할 수 있어 애플리케이션에서 발생하는 진공 공정 가스나 수증기에 노출되지 않습니다. Agilent IDP-15는 50/60Hz에서 100-120V 또는 200-230VAC 사이의 작동 전압 범위를 위한 글로벌 단상 모터를 지원하며 고전압과 저전압 사용을 전환하기 위한 접근이 쉬운 간단한 스위치를 통합합니다.

이 IDP-15 모델, Agilent Technologies 부품 번호 X3815-64010에는 통합 입구 격리 밸브가 포함되어 있습니다. 격리 밸브는 모듈 내부에 설치되며 펌프 입구에 높이를 추가하지 않습니다. IDP-15에서 전원이 끊어졌을 때 스크롤 펌프 입구를 통한 공기의 역방향 이동을 방지합니다. 이 격리 밸브는 시스템 전원 손실 시 고객의 챔버 또는 계측기의 갑작스러운 환기를 방지합니다. 격리 밸브 메커니즘은 일반적으로 입구 밸브를 닫아 두는 스프링을 통합합니다. 펌프의 낮은 압력은 스프링을 압축하고 입구 격리 밸브를 열어 두는 데 사용됩니다. 전원이 손실되면 솔레노이드 밸브가 열리고 진공 펌프를 환기하여 입구 격리 밸브가 닫힙니다. 닫는 시간은 일반적으로 20밀리초입니다. 전원이 복구되면 솔레노이드 밸브가 닫히고 진공 펌프 내부가 진공되기 시작하고 입구 격리 밸브는 약 10초 후에 다시 열립니다.

터보 분자 펌프와 같은 고진공 펌프는 건식 백킹 펌프 기술과 함께 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 스크롤 기술을 기반으로 하는 펌프는 백킹 터보 분자 고진공 펌프에 대한 건식 펌프 기술이 되었습니다. 이러한 Agilent Varian IDP-15 스크롤 기술을 우수한 건식 펌프 선택으로 만드는 데에는 깨끗하고 예측 가능한 성능, 낮은 진동 및 소음, 긴 서비스 수명을 포함한 여러 가지 요소가 있습니다.

최신 Agilent IDP-15 스크롤 기술은 매끄러운 궤도 작동을 기반으로 하며, 가스 압축 및 배출의 진공 펌프 사이클은 최소한의 맥동과 매우 낮은 진동으로 발생합니다. 응용 분야에 따라 진동은 일부 부정적인 영향을 미칠 수 있으며 진동 분리기와 같은 추가 구성 요소를 사용하게 될 수 있습니다. 새로운 Agilent IDP-15는 진동이 요인인 다양한 응용 분야에서 선택할 수 있는 건식 펌프입니다.

현재 스크롤 기술과 팁 씰 설계는 낮은 기본 압력과 서비스 수명 동안 기본 압력의 점진적인 증가를 제공하기 위해 함께 작동하는 요소입니다. 기본 압력의 이러한 점진적인 증가는 진공이 허용할 수 없게 되기 전에 유지 관리를 수행하고 예정되지 않은 가동 중지 시간을 줄일 수 있습니다. Agilent IDP-15와 같은 일반적인 스크롤 펌프는 10mTorr의 기본 압력을 달성합니다.

이 Agilent IDP-15 건식 스크롤 펌프는 중첩된 스크롤 중 하나가 다른 스크롤 주위를 공전하여 포획된 가스의 이동 구역을 만드는 간단한 이중 스크롤 메커니즘을 사용하여 진공을 생성합니다. 가스는 바깥쪽 경계에 있는 스크롤 세트로 들어가 허브 중앙으로 이동하고 압축되어 배출됩니다. 복잡하지 않은 이중 스크롤 설계는 낮은 소음 및 진동 수준, 간단하고 드문 유지 관리 요구 사항, 치명적인 고장 모드 제거를 포함한 많은 이점을 제공합니다.

이 새로운 Agilent Technologies IDP-15에는 더 긴 팁 씰 수명과 더 긴 서비스 간격을 위한 개선된 솔리드 팁 씰이 포함되어 있습니다. 솔리드 팁 씰 소재는 응축성 증기 응용 분야에서 우수한 성능을 발휘합니다. IDP-15의 팁 씰 교체는 그 어느 때보다 쉽습니다. 필요한 것은 간단한 도구, 일자 드라이버, 4mm 및 5mm 앨런 렌치, 이소프로필 알코올, 보푸라기 없는 물티슈, 팁 씰 키트 부품 번호 X3815-67000뿐입니다. 팁 씰 교체 절차는 사용 설명서의 24~30페이지를 참조하십시오. 새로운 Agilent IDP-15 밀폐형 건식 스크롤 진공 펌프에 대한 PDF 형식의 사용 설명서와 브로셔는 아래의 다운로드 섹션에서 다운로드할 수 있습니다.