Agilent Varian IDP-15 IDP15 ドライスクロール真空ポンプ、一体型遮断バルブ付き、単相、PN: X3815-64010

Agilent Varian IDP-15 ドライスクロール真空ポンプは、極めて静かな 50 dBA 未満と低振動動作を実現するように設計されており、60 Hz で 9.4 cfm (15.4 m3/h) のピーク排気速度を実現し、10 mTorr の到達圧力を生み出します。これらの新しい Agilent IDP-15 ドライスクロールポンプは密閉型で、希ガスおよびヘリウム 3He の再循環アプリケーションに適しています。真空空間がモーターとベアリングから完全に隔離された密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除されます。IDP-15 のこれらの主要な設計要素により、モーターとベアリングは大気圧で動作し、アプリケーションからの真空プロセスガスや水蒸気にさらされないように隔離されます。Agilent IDP-15 は、50/60Hz で 100～120V または 200～230 VAC の動作電圧範囲でグローバル単相モーターをサポートし、高電圧と低電圧の使用を切り替えるための簡単にアクセスできるシンプルなスイッチが組み込まれています。

この IDP-15 モデル (Agilent Technologies 部品番号 X3815-64010) には、統合型入口遮断バルブが含まれています。遮断バルブはモジュール内に取り付けられており、ポンプ入口の高さは増加しません。IDP-15 の電源が失われたときに、スクロール ポンプ入口を通る空気の逆流を防ぎます。この遮断弁は、システムの電源が失われたときに、お客様のチャンバーまたは機器が突然排気されるのを防ぎます。遮断弁のメカニズムには、入口弁を通常閉じた状態に保持するスプリングが組み込まれています。ポンプ内の低圧を使用してスプリングを圧縮し、入口遮断弁を開いた状態に保ちます。電源が失われると、ソレノイド弁が開き、真空ポンプを排気して入口遮断弁が閉じます。閉じる時間は通常 20 ミリ秒です。電源が回復すると、ソレノイド弁が閉じ、真空ポンプの内部が排気を開始し、入口遮断弁は約 10 秒後に再び開きます。

ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプは、ドライ バックアップ ポンプ技術と組み合わせて使用​​されることが増えています。スクロール技術に基づくポンプは、ターボ分子高真空ポンプのバックアップに最適なドライ ポンプ技術となっています。これらの Agilent Varian IDP-15 スクロール技術が優れたドライ ポンプの選択肢となる要因はいくつかあります。クリーンで予測可能なパフォーマンス、振動と騒音の低減、長寿命などです。

最新の Agilent IDP-15 スクロール技術は、滑らかな軌道動作に基づいており、ガスの圧縮と排出の真空ポンプ サイクルは、最小限の脈動と非常に低い振動で行われます。アプリケーションによっては、振動が悪影響を及ぼす可能性があり、振動アイソレータなどの追加コンポーネントの使用につながる場合があります。新しい Agilent IDP-15 は、振動が要因となるさまざまなアプリケーションで最適なドライ ポンプです。

現在のスクロール技術とチップ シール設計は、低いベース圧力と、耐用年数にわたってベース圧力が徐々に増加するように連携して機能します。このベース圧力の徐々に増加すると、真空が許容できなくなる前にメンテナンスを行うことができ、予定外のダウンタイムを削減できます。Agilent IDP-15 のような一般的なスクロール ポンプは、10 mTorr のベース圧力を実現します。

これらの Agilent IDP-15 ドライ スクロール ポンプは、シンプルなデュアル スクロール メカニズムを使用して真空を生成します。このメカニズムでは、ネストされたスクロールの 1 つがもう 1 つのスクロールの周りを周回し、捕捉されたガスの移動ゾーンを作成します。ガスは外側の周囲からスクロール セットに入り、ハブの中心に向かって移動および圧縮され、そこで排出されます。シンプルなデュアル スクロール設計には、ノイズと振動のレベルが低い、メンテナンスが簡単で頻度が少ない、壊滅的な故障モードがなくなるなど、多くの利点があります。

これらの新しい Agilent Technologies IDP-15 には、チップ シールの寿命とサービス間隔を長くする改良されたソリッド チップ シールが含まれています。ソリッド チップ シールの素材は、凝縮性蒸気の用途に適しています。IDP-15 のチップ シールの交換は、これまで以上に簡単です。必要なのは、シンプルなツール、マイナス ドライバー、4 mm および 5 mm の六角レンチ、イソプロピル アルコール、糸くずの出ないワイプ、チップ シール キット部品番号 X3815-67000 だけです。チップシールの交換手順については、取扱説明書の 24 ～ 30 ページをご覧ください。新しい Agilent IDP-15 密閉ドライスクロール真空ポンプの取扱説明書とパンフレット (PDF 形式) は、以下のダウンロード セクションからダウンロードできます。