Agilent Varian 531 熱電対真空圧力測定ゲージ チューブ センサー、KF16、SS、PN F0472315
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Varian 部品番号 F0472315
Varian 531 熱電対ゲージ チューブ センサーは、1 x 10-3 torr ～ 2.0 torr (1X10-3 mbar ～ 2.7 mbar) の全圧力を継続的に正確に表示します。荒削りおよびフォアライン圧力測定の堅牢な信頼性と優れた性能を兼ね備えるように開発されました。Varian 531 熱電対真空ゲージは、低コストの圧力測定センサーです。Varian 531 熱電対チューブ センサーは、振動に対する高い耐性を備えており、このモデルはステンレス鋼でレーザー溶接されています。Varian 部品番号 F0472315。
熱電対真空圧力計、Wikapedia.org より
熱伝導率計は、圧力によってガスの熱伝導能力が低下するという事実に基づいています。このタイプの計器では、ワイヤ フィラメントに電流を流すことでフィラメントを加熱します。次に、熱電対または抵抗温度検出器 (RTD) を使用してフィラメントの温度を測定できます。この温度は、フィラメントが周囲のガスに熱を奪われる速度、つまり熱伝導率に依存します。一般的なバリエーションは、加熱要素と RTD の両方として単一のプラチナ フィラメントを使用するピラニ ゲージです。これらのゲージの精度は 20 Torr から 10-3 Torr です (購入したセンサーとコントローラーのモデルによって異なります)。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。
熱電対真空圧力計、Wikapedia.org より
熱伝導率計は、圧力によってガスの熱伝導能力が低下するという事実に基づいています。このタイプの計器では、ワイヤ フィラメントに電流を流すことでフィラメントを加熱します。次に、熱電対または抵抗温度検出器 (RTD) を使用してフィラメントの温度を測定できます。この温度は、フィラメントが周囲のガスに熱を奪われる速度、つまり熱伝導率に依存します。一般的なバリエーションは、加熱要素と RTD の両方として単一のプラチナ フィラメントを使用するピラニ ゲージです。これらのゲージの精度は 20 Torr から 10-3 Torr です (購入したセンサーとコントローラーのモデルによって異なります)。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。
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