Capteur de pression sous vide à thermocouple Agilent Varian 531, KF16, SS, PN F0472315
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Numéro de pièce Varian F0472315
Le capteur de tube de mesure de pression à thermocouple Varian 531 fournit une indication précise et continue de la pression totale de 1 x 10-3 torr à 2,0 torr (1X10-3 mbar à 2,7 mbar). Développé pour combiner une fiabilité robuste et des performances exceptionnelles pour la mesure de la pression d'ébauche et de la pression primaire. Les jauges à vide à thermocouple Varian 531 sont un capteur de mesure de pression à faible coût. Les capteurs de tube à thermocouple Varian 531 offrent une résistance élevée aux vibrations. Ce modèle est en acier inoxydable et soudé au laser. Numéro de pièce Varian F0472315.
Manomètres à vide à thermocouple, par Wikapedia.org
Les jauges de conductivité thermique reposent sur le fait que la capacité d'un gaz à conduire la chaleur diminue avec la pression. Dans ce type de jauge, un filament métallique est chauffé en faisant passer du courant à travers lui. Un thermocouple ou un détecteur de température à résistance (RTD) peut ensuite être utilisé pour mesurer la température du filament. Cette température dépend de la vitesse à laquelle le filament perd de la chaleur au gaz environnant, et donc de la conductivité thermique. Une variante courante est la jauge Pirani qui utilise un seul filament de platine comme élément chauffant et RTD. Ces jauges sont précises de 20 Torr à 10-3 Torr (selon le modèle de capteur et de contrôleur acheté). Cependant, elles sont sensibles à la composition chimique des gaz mesurés et sont appelées méthode de mesure de pression relative, c'est-à-dire qu'elles déterminent la pression indirectement à partir de la propriété de conductivité thermique du milieu gazeux.
Manomètres à vide à thermocouple, par Wikapedia.org
Les jauges de conductivité thermique reposent sur le fait que la capacité d'un gaz à conduire la chaleur diminue avec la pression. Dans ce type de jauge, un filament métallique est chauffé en faisant passer du courant à travers lui. Un thermocouple ou un détecteur de température à résistance (RTD) peut ensuite être utilisé pour mesurer la température du filament. Cette température dépend de la vitesse à laquelle le filament perd de la chaleur au gaz environnant, et donc de la conductivité thermique. Une variante courante est la jauge Pirani qui utilise un seul filament de platine comme élément chauffant et RTD. Ces jauges sont précises de 20 Torr à 10-3 Torr (selon le modèle de capteur et de contrôleur acheté). Cependant, elles sont sensibles à la composition chimique des gaz mesurés et sont appelées méthode de mesure de pression relative, c'est-à-dire qu'elles déterminent la pression indirectement à partir de la propriété de conductivité thermique du milieu gazeux.
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