Capteur de pression sous vide à thermocouple Agilent Varian 531, 1/8 po NPT, SS, PN F0472303
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Numéro de pièce Varian F0472303
Manomètres à vide à thermocouple, par Wikapedia.org
Les jauges de conductivité thermique reposent sur le fait que la capacité d'un gaz à conduire la chaleur diminue avec la pression. Dans ce type de jauge, un filament métallique est chauffé en y faisant passer du courant. Un thermocouple ou un détecteur de température à résistance (RTD) peut ensuite être utilisé pour mesurer la température du filament. Cette température dépend de la vitesse à laquelle le filament perd de la chaleur au profit du gaz environnant, et donc de la conductivité thermique. Une variante courante est la jauge Pirani qui utilise un seul filament de platine comme élément chauffant et RTD. Ces jauges sont précises de 20 Torr à 10−3 Torr (selon le modèle de capteur et de contrôleur acheté). Cependant, elles sont sensibles à la composition chimique des gaz mesurés et sont qualifiées de méthode de mesure de pression relative, c'est-à-dire qu'elles déterminent la pression indirectement à partir de la propriété de conductivité thermique du milieu gazeux.
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