Agilent Varian 531 열전대 진공 압력 게이지 시뮬레이터 및 참조 튜브 - PN: L7383301
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Agilent Varian 부품 번호 L7383301
이것은 Agilent Varian 531 열전대 게이지 시뮬레이터 및 기준 튜브입니다. 이것은 게이지 컨트롤러를 테스트하거나 교정할 때 도움이 됩니다. 2.0 Torr 압력과 1 × 10-3 Torr를 모두 시뮬레이션합니다. 기준 튜브는 <=5 × 10-6 Torr의 압력에서 진공으로 영구적으로 밀봉됩니다.
Wikapedia.org의 열전대 진공 압력 게이지
열전도도 게이지는 가스의 열 전도 능력이 압력에 따라 감소한다는 사실에 의존합니다. 이 유형의 게이지에서는 와이어 필라멘트를 통해 전류를 흘려 가열합니다. 그런 다음 열전대 또는 저항 온도 검출기(RTD)를 사용하여 필라멘트의 온도를 측정할 수 있습니다. 이 온도는 필라멘트가 주변 가스로 열을 잃는 속도와 열 전도도에 따라 달라집니다. 일반적인 변형은 가열 요소와 RTD로 단일 백금 필라멘트를 사용하는 피라니 게이지입니다. 이 게이지는 20 Torr에서 10-3 Torr까지 정확합니다(구매한 센서 및 컨트롤러 모델에 따라 다름). 그러나 측정되는 가스의 화학적 구성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열 전도도 특성에서 간접적으로 압력을 결정합니다.
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열전도도 게이지는 가스의 열 전도 능력이 압력에 따라 감소한다는 사실에 의존합니다. 이 유형의 게이지에서는 와이어 필라멘트를 통해 전류를 흘려 가열합니다. 그런 다음 열전대 또는 저항 온도 검출기(RTD)를 사용하여 필라멘트의 온도를 측정할 수 있습니다. 이 온도는 필라멘트가 주변 가스로 열을 잃는 속도와 열 전도도에 따라 달라집니다. 일반적인 변형은 가열 요소와 RTD로 단일 백금 필라멘트를 사용하는 피라니 게이지입니다. 이 게이지는 20 Torr에서 10-3 Torr까지 정확합니다(구매한 센서 및 컨트롤러 모델에 따라 다름). 그러나 측정되는 가스의 화학적 구성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열 전도도 특성에서 간접적으로 압력을 결정합니다.
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