Agilent Varian 531 熱電対真空圧力ゲージシミュレーターおよびリファレンスチューブ - PN: L7383301
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Agilent Varian 部品番号 L7383301
これは Agilent Varian 531 熱電対ゲージ シミュレーターおよびリファレンス チューブです。ゲージ コントローラーのテストまたはキャリブレーションに役立ち、使用されます。2.0 Torr の圧力と 1 × 10-3 Torr の両方をシミュレートします。リファレンス チューブは、<=5 × 10-6 Torr の圧力で内部が真空に永久的に密封されています。
熱電対真空圧力計、Wikapedia.org より
熱伝導率計は、圧力によってガスの熱伝導能力が低下するという事実に基づいています。このタイプの計器では、ワイヤ フィラメントに電流を流すことでフィラメントを加熱します。次に、熱電対または抵抗温度検出器 (RTD) を使用してフィラメントの温度を測定できます。この温度は、フィラメントが周囲のガスに熱を奪われる速度、つまり熱伝導率に依存します。一般的なバリエーションは、加熱要素と RTD の両方として単一のプラチナ フィラメントを使用するピラニ ゲージです。これらのゲージの精度は 20 Torr から 10-3 Torr です (購入したセンサーとコントローラーのモデルによって異なります)。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。
熱電対真空圧力計、Wikapedia.org より
熱伝導率計は、圧力によってガスの熱伝導能力が低下するという事実に基づいています。このタイプの計器では、ワイヤ フィラメントに電流を流すことでフィラメントを加熱します。次に、熱電対または抵抗温度検出器 (RTD) を使用してフィラメントの温度を測定できます。この温度は、フィラメントが周囲のガスに熱を奪われる速度、つまり熱伝導率に依存します。一般的なバリエーションは、加熱要素と RTD の両方として単一のプラチナ フィラメントを使用するピラニ ゲージです。これらのゲージの精度は 20 Torr から 10-3 Torr です (購入したセンサーとコントローラーのモデルによって異なります)。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。
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