Agilent Varian 531 熱電偶真空壓力表模擬器和參考管 - PN：L7383301
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熱電偶真空壓力表，作者：Wikipedia.org
熱導率計依賴氣體導熱能力隨壓力降低的事實。在這種類型的壓力表中，透過電流流過燈絲來加熱燈絲。然後可以使用熱電偶或電阻溫度偵測器 (RTD) 來測量燈絲的溫度。此溫度取決於燈絲向周圍氣體散失熱量的速率，因此也取決於熱導率。一種常見的變體是皮拉尼真空計，它使用單根鉑絲作為加熱元件和 RTD。這些壓力計的準確度範圍為 20 Torr 至 10-3 Torr（取決於所購買的感測器和控制器的型號）。然而，它們對被測氣體的化學成分敏感，被稱為相對壓力測量方法，即它們根據氣體介質的導熱性能間接確定壓力。
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