Agilent Varian VHS-10 확산 펌프. 외부 콜드 캡, 480V, ISO 320K, 14.5인치 OD, 5100W

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Agilent Varian VHS-10 수냉식 진공 확산 펌프, ISO 320K 입구 플랜지, 14.5인치 OD, 최대 펌핑 속도 4200 l/s
확장형 콜드 캡, (2) 480 VAC 2550와트 히터, Agilent Varian.

Agilent Varian VHS-10은 높은 펌핑 속도가 필요하고 공간 제약으로 인해 소형 펌프가 필요한 애플리케이션의 특수한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. VHS-10 펌프는 4400W에서 1.7 x 10-3 ~ <5 x 10-9 Torr의 작동 범위를 가진 견고한 범용 장치입니다. Agilent Varian VHS-10은 높은 펌핑 속도(표준 콜드 캡 사용 시 최대 정격 5300 l/s)와 높은 전압 허용 범위(무부하 시 0.65 Torr, 가스 전체 부하 시 0.55 Torr)를 결합했기 때문에 빠른 사이클이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다. 장치의 백스트리밍 속도는 냉각된 콜드 캡을 사용하지 않고도 5x10-4 mg/cm2/분입니다.

이 Agilent Varian VHS-10 확산 펌프에는 다음이 포함됩니다.
  • ISO 320K 입구 플랜지(14.5인치 OD 플랜지, 볼트 구멍 없음)
  • ISO 63K 출구 포어라인 플랜지(3.75인치 OD 플랜지, 볼트 구멍 없음)
  • 확장형 콜드 캡
  • 권장 러핑 백킹 펌프: 30 CFM
  • 최대 펌핑 속도 4200 l/s 공기
  • 480 VAC 3 ph(5100W) (2) 2550와트 히터 포함
  • 물 연결 1/8인치 FPT 티
  • Santovac 5 또는 IVP 704 확산 펌프 오일과 함께 사용하도록 설계됨, 1000cc(1.056 Qt.) 완전 충전
확산 펌프는 고속 증기 분사를 사용하여 펌프 목구멍의 가스 분자를 펌프 바닥으로 유도하고 출구로 배출합니다. 오일 확산 펌프는 증기압이 낮은 오일로 작동합니다. 그 목적은 양압 펌프만 사용하는 것보다 더 높은 진공(낮은 압력)을 달성하는 것입니다. Agilent Varian VHS-10은 <5x10-9 Torr의 압력까지 펌핑할 수 있습니다. 확산 펌프는 대기로 직접 방출할 수 없으므로 기계적 포펌프, 러핑 펌프를 사용하여 일반적으로 출구 압력을 약 1 mTorr로 유지합니다.

이러한 Agilent Varian 확산 펌프는 매우 안정적이고 설계가 간단하며 소음이나 진동 없이 작동합니다. 확산 펌프는 여전히 고진공 압력을 생성하는 가장 경제적인 수단입니다. 확산 펌프는 다른 유형의 고진공 펌프를 파괴할 수 있는 과도한 입자 및 반응성 가스와 같은 작동 조건도 허용합니다. 3상 208, 240, 380, 480 VAC 히터 하네스와 표준 또는 확장형 콜드 캡과 함께 주문할 수 있습니다. 당사는 이 펌프용 Santovac 5 확산 펌프 유체를 재고로 보유하고 판매합니다. 진공 애플리케이션과 유지 관리 요구 사항에 도움이 될 수 있는 추가 액세서리는 아래의 "관련" 섹션을 참조하세요. 당사는 이 웹사이트에서 별도로 판매되는 다양한 진공 그리스, 오일, 진공 피팅, 호스, 진공 게이지, 센서/트랜스듀서, 부품 및 액세서리를 제공합니다.

이 Agilent Varian VHS-10 확산 펌프는 ISO 320K 입구 플랜지를 가지고 있으며, 3상 480 VAC에서 작동하고, 확장형 콜드 캡을 가지고 있으며 Agilent Varian 부품 번호 L5920339를 가지고 있습니다. Agilent Varian VHS-10 확산 펌프 사용 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다. 이는 주문이 접수되는 당일에 배송되는 일반적인 재고 품목입니다.

P6106931.sldprt (P6106931.sldprt, 242 Kb) [다운로드]

P6106931.step (P6106931.step, 209 Kb) [다운로드]

Agilent-VHS-10-and-VHS-400-Diffusion-manual.pdf (Agilent-VHS-10-and-VHS-400-Diffusion-manual.pdf, 2,132 Kb) [다운로드]

Agilent-Varian-Diffusion-Pumps-Catalog.pdf (Agilent-Varian-Diffusion-Pumps-Catalog.pdf, 2,786 Kb) [다운로드]

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