Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプ。Ext. コールドキャップ、480V、ISO 320K、外径 14.5 インチ、5100W

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Agilent Varian VHS-10 水冷式真空拡散ポンプ、ISO 320K インレットフランジ、外径 14.5 インチ、最大排気速度 4200 l/s
拡張コールドキャップ、(2) 480 VAC 2550 ワットヒーター、Agilent Varian。

Agilent Varian VHS-10 は、高い排気速度が必要で、スペースが限られているためコンパクトなポンプが求められるアプリケーションの特別なニーズを満たすように設計されています。VHS-10 ポンプは、4400W で 1.7 x 10-3 ~ 5 x 10-9 Torr の動作範囲を持つ、頑丈な汎用ユニットです。 Agilent Varian VHS-10 は、高いポンピング速度 (標準コールド キャップ使用時最大定格 5300 l/s) と高い前圧許容度 (無負荷時 0.65 Torr、フル ガス負荷時 0.55 Torr) を併せ持つため、高速サイクルを必要とするアプリケーションに最適です。ユニットの逆流率は、冷却コールド キャップを使用しなくても 5x10-4 mg/cm2/分です。

この Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプには以下が含まれます:
  • ISO 320K 入口フランジ (14.5 インチ OD フランジ、ボルト穴なし)
  • ISO 63K 出口フォアライン フランジ、(3.75 インチ OD フランジ、ボルト穴なし)
  • 拡張コールド キャップ
  • 推奨粗引きバッキング ポンプ: 30 CFM
  • 最大ポンピング速度 4200 l/s 空気
  • 480 VAC 3 ph (5100W)、(2) 2550 ワット ヒーター付き
  • 水接続 1/8 インチ FPT ティー
  • Santovac 5 または IVP 704 拡散ポンプ オイルと一緒に使用するように設計されています。 1000cc (1.056 Qt.) フルチャージ
拡散ポンプは、高速の蒸気ジェットを使用して、ポンプスロート内のガス分子をポンプの底部から出口に導きます。オイル拡散ポンプは、蒸気圧の低いオイルで動作します。その目的は、容積式ポンプのみを使用した場合よりも高い真空 (低い圧力) を実現することです。Agilent Varian VHS-10 は、圧力を 5x10-9 Torr 未満まで下げることができます。拡散ポンプは大気中に直接排出できないため、機械式フォアポンプ、粗引きポンプを使用して、出口圧力を約 1 mTorr に維持するのが一般的です。

これらの Agilent Varian 拡散ポンプは非常に信頼性が高く、設計がシンプルで、騒音や振動なしで動作します。拡散ポンプは、今でも高真空圧を生成するための最も経済的な手段です。拡散ポンプは、他のタイプの高真空ポンプを破壊するような過剰な粒子や反応性ガスなどの動作条件にも耐えます。3 相 208、240、380、480 VAC ヒーター ハーネスと標準または拡張コールド キャップ付きで注文できます。このポンプ用の Santovac 5 拡散ポンプ オイルを在庫し、販売しています。真空アプリケーションやメンテナンスのニーズに役立つ可能性のある追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。この Web サイトでは、真空グリース、オイル、真空フィッティング、ホース、真空ゲージ、センサー/トランスデューサ、部品、アクセサリを別売りで多数取り揃えています。

これらの Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプには、ISO 320K 入口フランジ、3 相 480 VAC で動作、拡張コールド キャップ、Agilent Varian 部品番号 L5920339 があります。 Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプのユーザーマニュアルは、以下の PDF 形式でダウンロードできます。これらは通常在庫品であり、注文当日に出荷されることが多いです。

P6106931.sldprt (P6106931.sldprt, 242 Kb) [ダウンロード]

P6106931.step (P6106931.step, 209 Kb) [ダウンロード]

Agilent-VHS-10-and-VHS-400-Diffusion-manual.pdf (Agilent-VHS-10-and-VHS-400-Diffusion-manual.pdf, 2,132 Kb) [ダウンロード]

Agilent-Varian-Diffusion-Pumps-Catalog.pdf (Agilent-Varian-Diffusion-Pumps-Catalog.pdf, 2,786 Kb) [ダウンロード]

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